Piezorezistivni senzor pritiska
Mjerač otpora je jedna od glavnih komponenti piezorezistivnog senzora naprezanja. Princip rada metalnog otpornog merača deformacije zasniva se na fenomenu da se otpor merača naprezanja adsorbovanog na podlozi menja sa mehaničkom deformacijom, opšte poznatom kao efekat deformacije otpora.
Keramički senzor pritiska
Keramički senzor pritiska je baziran na piezorezistivnom efektu. Pritisak djeluje direktno na prednju površinu keramičke dijafragme, uzrokujući blagu deformaciju. Otpornik debelog-filmskog otpornika je odštampan na poleđini keramičke dijafragme, formirajući Wheatstoneov most. Zbog piezorezistivnog efekta piezorezistivnog otpornika, most generiše visoko linearan naponski signal koji je proporcionalan pritisku i takođe proporcionalan naponu pobude. Standardni signali su kalibrisani na 2,0/3,0/3,3 mV/V, itd., u zavisnosti od opsega pritiska, i kompatibilni su sa senzorima za merenje naprezanja.
Difuzni silikonski senzor pritiska
Princip rada difuznog silicijumskog senzora pritiska je takođe zasnovan na piezorezistivnom efektu. Koristeći ovaj princip, pritisak mjerenog medija djeluje direktno na dijafragmu senzora (od nehrđajućeg čelika ili keramike), uzrokujući mikro-pomak dijafragme proporcionalno pritisku medija. To rezultira promjenom otpora senzora. Elektronsko kolo detektuje ovu promjenu i daje standardni mjerni signal koji odgovara tom pritisku.
Safirni senzor pritiska
Koristeći princip mjerača naprezanja, ovaj senzor koristi silicijum{0}}safir kao poluvodički senzorski element, koji posjeduje metrološke karakteristike bez premca. Zbog toga su poluprovodnički senzori napravljeni od silicijum-safira neosjetljivi na temperaturne promjene i pokazuju odlične radne karakteristike čak i na visokim temperaturama; safir ima jaku otpornost na zračenje; osim toga, senzorni elementi od silicijum-safirnih poluprovodnika nemaju p-n pomak.
Piezoelektrični senzor pritiska
Piezoelektrični efekat je glavni princip rada piezoelektričnih senzora. Piezoelektrični senzori se ne mogu koristiti za statička mjerenja jer se naboj nakon primjene vanjske sile zadržava samo kada kolo ima beskonačnu ulaznu impedanciju. Budući da to nije slučaj u stvarnosti, piezoelektrični senzori mogu mjeriti samo dinamički stres.